TFM-100 薄膜厚度量測儀
TFM-100 Series: Non-Contact Coating & Thin Film Thickness Analyzer
TFM-100 系列是一款先進的光譜反射儀（Reflectometer），
具備極為直觀的操作介面
無論是專業技術人員或一般操作員，皆能迅速上手並取得精確的量測結果 。
TFM-100 Series: Non-Contact Coating & Thin Film Thickness Analyzer
量測原理
當入射光照射到樣品上時，一部分光從薄膜表面反射回來（反射光1），一部分光穿過薄膜並從基底反射回來（反射光2）（圖1）。
如圖2所示，兩束反射光之間有乾涉現象。圖2顯示，圖中正弦曲線越多，薄膜越厚。
TFM-100 系列是一款先進的光譜反射儀（Reflectometer），具備極為直觀的操作介面
無論是專業技術人員或一般操作員，皆能迅速上手並取得精確的量測結果
| 型號 (Model) | 厚度量測範圍 (Range) | 波長範圍 (Wavelength) | 光源 (Light Source) |
| TFM-100C | 0.3 μm - 100 μm | 350 nm - 1,050 nm | 鎢鹵素燈 (Tungsten Halogen) |
| TFM-100 | 15 nm - 80 μm | 350 nm - 1,050 nm | 鎢鹵素燈 (Tungsten Halogen) |
| TFM-100N | 1 μm - 500 μm | 750 nm - 1,100 nm | 鎢鹵素燈 (Tungsten Halogen) |
| TFM-100X | 100 μm - 2,000 μm | 1,005 nm - 1,080 nm | 超輻射發光二極體 (SLD) |
重複性 (Repeatability)： 0.2% 或量測 1 μm SiO2 於晶圓時小於 1 nm (連續 10 次測試)
光斑大小 (Spot Size)： 約 2-4 mm
樣品台尺寸： 標準為 20 cm x 20 cm（支援客製化需求）
重量與電力： 約 5 kg；12V/0.5A
產品核心優勢- 非接觸與非破壞性量測： 確保樣品表面不受損傷，維持工件完整性
- 操作極簡化： 僅需簡單按鈕操作即可完成量測，大幅提升效率
- 量測範圍廣泛： 厚度涵蓋範圍從 15 nm 到 2,000 μm
- 多樣化基材適用性： 支援半導體晶圓 (Wafer)、玻璃 (Glass)、金屬 (Metal) 等多種基材
廣泛的產業應用 - 半導體領域： 適用於 SiO2、Si3N4、SiC、TiO2 以及光阻劑 (如 SU-8) 之量測
- 平面顯示器與能源： 觸控面板、太陽能電池、ITO 導電膜、Cell-gap 等
- 塗層量測： 包含汽車塗裝、醫療器材塗層、PCB 保護膜
- 各式薄膜： PET、PMMA、PE、丙烯酸樹脂 (Acrylic) 及抗反射膜 (AR Coating)
量測實例 (Application Examples)