原子力顯微鏡 AFM
各種應用:
- 半導體
- 金屬
- 光伏
- 薄膜&塗層
- 蛋白質
- DNA
- 高分子聚合物
多種模式及功能
除了高性能,Nano-Observer同時擁有多種先進的模式,可以擴大你的研究領域。除了contact/LFM and Oscillating/ Phase imaging模式之外,還有分析電特性(CAFM)、電場(EFM)和磁場(MFM)和表面電位(HD-KFM)。
Nano-Observer具有強大的多功能性:
獨家高解析率度凱爾文模式 ( HD-KFM )
傳統的KFM使用抬升模式及兩次掃描技術,損失掃描畫面的解析度及些許微小訊號。
Nano-Observer使用了獨特的高解析單次掃描技術,加強畫面解析度並且更能精準探測樣品的表面電位。
standard KFM HD-KFM with Nano-Observer
獨家電子量測工具 Resiscope TM
- 全球最佳AFM電特性測量系統
- 防止樣品及探針在高電流量測下損壞
- 低電流、高解析度、高靈敏度
- 更有效量測材料多重表徵及內部特性
Topography in AC mode HD-KFM Resiscope
先進的掃描平台 - 高解析率度
Nano-Observer使用了一個先進的掃描平台,以避免眾所周知的壓電陶瓷管掃描器的缺陷,如弓效應,X-Y串擾等。
低雜訊的回饋控制提供了可靠性和高性能。將具有三個獨立低壓壓電器件的平板掃描器安裝在一個平臺上,並結合低雜訊的鐳射和電子系統,可在原子尺度上實現高解析度測量。
C36, oscillation mode, 250nm
上 / 側邊視角變換
Nano-Observer可利用上/側邊方向視角變換,觀察樣品與探針的接觸,幫助探針/樣品更簡單接觸,防止探針/樣品受損。
Top View Side View
DNA, oscillating mode, 800nm
XY scan range | 100 μm (tolerance +/- 10%) |
Z range | 10 μm (tolerance +/- 10%) |
XY drive resolution | 24 bit control - 0.06 Angströms |
Z drive resolution | 24 bit control - 0.006 Angströms |
Ultra low noise HV | Typ : <0.01 mv="" rms0="" 01="" span="">0.01 |